이용안내(사용료)
한국해양대학교 반도체공정실험실습관에 오신 것을 환영합니다.
반도체공정실험실습관은 2023년 12월에 완공된 약 330 m2 규모의 연구 시설로 대학의 산학허브관 1층에 위치해 있습니다.
이 실습관은 클린룸과 포토 실험실이 결합된 반도체 나노 공정, 제조 및 분석 시설에 이르기까지 다양한 대학 학과의 학생, 연구자에게 공개적으로 접근할 수 있는 기회를 제공합니다.
반도체공정실험실습관의 시설은 모든 한국해양대학교 구성원들이 이용할 수 있습니다.
귀하가 한국해양대학교 구성원인 경우 적절한 교육 및 사용 허가를 얻고 출입을 신청할 수 있습니다. 아래와 같이 클린룸 유지 보수를 위한 1개월 6개월 1년 단위의 클린룸 사용료(출입료)를 받고 있으며 실험에 필요한 귀금속 증착 물질 및 증착에 필요한 소모품 그리고 분석에 필요한 소모품 모두 직접 준비하여야 하며 모든 장비는 교육을 받고 사용 허가를 얻은 뒤에 직접 사용하여야 합니다.
향후 모든 준비가 완료되면 고가의 반도체 공정 비용이 소요되는 몇몇 특정 장비에 추가로 사용료가 책정될 예정입니다.
출입 (또는 장비) 사용료는 선불로 진행되며 사전에 안전 교육 및 장비 교육은 장비 엔지니어에게 받을 수 있습니다.
- 1개월 : 30만원, 6개월 : 100만원, 1년 : 150만원
감사합니다.
기기 | 단위 | 금액 |
---|---|---|
Atomic Force Microscope
시간
100원
|
시간 | 100원 |
Drying Oven
시간
100원
|
시간 | 100원 |
E-beam Evaporator
시간
100원
|
시간 | 100원 |
ICP-RIE
시간
100원
|
시간 | 100원 |
Laser Writer
시간
100원
|
시간 | 100원 |
Mask Aligner
시간
100원
|
시간 | 100원 |
Multi Hotplate Stirrer
시간
100원
|
시간 | 100원 |
Optical Microscope
시간
100원
|
시간 | 100원 |
Parylene Coater
시간
100원
|
시간 | 100원 |
Rapid Thermal Annealing
시간
100원
|
시간 | 100원 |
Scanning Electron Microscope
시간
100원
|
시간 | 100원 |
Spin Coater
시간
100원
|
시간 | 100원 |
Thermal Evaporator
시간
100원
|
시간 | 100원 |
Vacuum Plasma System
시간
100원
|
시간 | 100원 |
Wet Station
시간
100원
|
시간 | 100원 |